従来技術に比べてより単純化したプロセスで製造可能です。
独自のステージアーキテクチャーとビーム形状により高速なチップ移送が可能です。
高精度位置決めを実現する設備動作により正確なチップ移送が可能です。
プロセス
装置
移送部品
プロセス
装置
移送部品
マイクロLEDチップLLO
Contact-LLO
Gap-LLO
エキシマレーザー
マルチレーザーリフトオフ装置
SQDP
プロセス
装置
移送部品
プロセス
装置
移送部品
SQDP-Gシリーズ
大型(2nd)ドナープレートへ
マストランスファー
エキシマレーザー
レーザーマストランスファー装置
EZ-PETAMP-Dot
EZ-PETAMP-Flat
EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)
EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)
プロセス
装置
移送部品
プロセス
装置
移送部品
マイクロLEDチップリペア
エキシマレーザー
高速リペア装置
(トリミング/リペア装置)
EZ-PETAMP-1Dot