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【观看动画】信越化学提供的Micro LED整套制程

【观看动画】信越化学提供的Micro LED整套制程

【Watch in Video】Learn Shin-Etsu Micro LED Chip Transfer Technologies

大型显示器

小型显示器

接触式LLO
(Contact-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off设备

转移产品
SQDP系列

将Micro LED晶圆上的芯片
高效转移到SQDP上。

非接触式LLO
(Gap-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off设备

转移产品
SQDP系列

将Micro LED晶圆上的芯片
高效转移到SQDP上。

转移到Release Plate

Bonding / Debonding设备

转移产品
SQRP系列

将转移到SQDP的Micro LED芯片一次
性转移到SQRP上。

转移到面板

转移产品
EZ-PETAMP-Dot

用EZ-PETAMP-Dot把Micro LED芯片
转移到面板上。

高速巨量转移到大型(2nd)Donor Plate上

Excimer Laser
Laser Mass Transfer设备

转移产品
SQDP-G系列

转移产品
SQRP系列

将SQRP上的Micro LED
芯片按照Pixel Pitch
高速转移到SQDP-G上。

将SQRP上的Micro LED
芯片按照高速且
高密度地移到SQDP-G上。

转移到4K/8K屏幕显示器的面板上

转移产品
EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)

用EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)
把Micro LED芯片
转移到面板上。

转移产品
EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)

用EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)
把Micro LED芯片
转移到面板上。

可自由排布芯片间距的非接触式
LLO (Gap-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off设备

转移产品
SQDP系列

将Micro LED晶圆上的芯片
高效转移到SQDP上。

转移到面板

转移产品
EZ-PETAMP-Flat

用EZ-PETAMP-Flat把Micro LED芯片
转移到面板上。

Micro LED芯片的修补

Micro LED Chip Repair

转移到面板后的修补

转移产品
EZ-PETAMP-1 Dot

转移产品
SQDP系列

转移到面板后
仍可进行修补。

Donor Plate(SQDP系列)上的修补

Excimer Laser
高速修补设备

转移产品
SQRP系列

去除SQDP上的不良Micro LED芯片后,
从SQRP取芯片进行填补。

Donor Plate(SQDP系列)上的修补
(自由排布芯片间距完毕后)

Excimer Laser
高速修补设备

转移产品
SQRP系列

去除SQDP上的不良Micro LED芯片后,
从SQRP取芯片进行填补。