Micro LED晶圓(LLO前)
信越化學獨有的材料
準分子雷射(Excimer laser)設備
Micro LED晶圓(LLO前)
比一般傳統製造技術更能達到簡化製程與量産。
以獨自開發的階段構造(Stages Architcture)與波束形狀達成晶片的快速轉移。
因設備的高精度對位的實現而達成確實的晶片轉移。
從Micro LED晶圓或配置在轉移元件上的晶片背面以準分子雷射照射來分離及轉移晶片到
接收基板的製程。
信越化學集團針對轉移元件接觸式LLO(Contact-LL0)與非接觸式LLO(Gap-LLO)均具
備相關對應生產設備及轉移產品。
因此,可以針對各式各樣的需求進行轉移製程的提案。
(接觸)
(非接觸)
製程
設備
轉移元件
制程
設備
轉移元件
Micro LED晶片LLO
Contact-LLO
Gap-LLO
Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off設備
SQDP
制程
設備
轉移元件
制程
設備
轉移元件
SQDP-G系列
高速巨量轉移到
大型(2nd)Donor Plate
Excimer Laser
Laser Mass Transfer設備
EZ-PETAMP-Dot
EZ-PETAMP-Flat
EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)
EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)
制程
設備
轉移元件
制程
設備
轉移元件
Micro LED晶片修復
Excimer Laser
高速修復設備
(Trimming / Repair設備)
EZ-PETAMP-1Dot
