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【動画で見る】信越化学が提供するマイクロLED製造一貫プロセス

【動画で見る】信越化学が提供するマイクロLED製造一貫プロセス

【Watch in Video】Learn Shin-Etsu Micro LED Chip Transfer Technologies

大型ディスプレイ向けプロセス

小型ディスプレイ向けプロセス

Contact-LLO

エキシマレーザー
マルチLLO装置

移送部品
SQDPシリーズ

マイクロLEDウエハー上のチップをSQDPに
効率良く移送します。

Gap-LLO

エキシマレーザー
マルチLLO装置

移送部品
SQDPシリーズ

マイクロLEDウエハー上のチップをSQDPに
効率良く移送します。

リリースプレートに移送

ボンド装置 / デボンド装置

移送部品
SQRPシリーズ

SQDPに移送したマイクロLEDチップを
移送部品SQRPに一括移送します。

バックプレーンに移送

移送部品
EZ-PETAMP-Dot

EZ-PETAMP-DotでマイクロLEDチップを
バックプレーンに移送します。

大型(2nd)ドナープレートに高速マストランスファー

エキシマレーザー
レーザーマストランスファー装置

移送部品
SQDP-Gシリーズ

移送部品
SQRPシリーズ

SQRP上のマイクロLEDチップを
SQDP-Gに高速で
ピクセルピッチに移送します。

SQRP上のマイクロLEDチップを
SQDP-Gに高速かつ
高密度に移送します。

4K/8Kモニターのバックプレーンに移送

移送部品
EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)

EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)で
マイクロLEDチップを
バックプレーンに移送します。

移送部品
EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)

EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)で
マイクロLEDチップを
バックプレーンに移送します。

ピッチ変換を伴うGap-LLO

エキシマレーザー
マルチLLO装置

移送部品
SQDPシリーズ

マイクロLEDウエハー上のチップをSQDPに
効率良く移送します。

バックプレーンに移送

移送部品
EZ-PETAMP-Flat

EZ-PETAMP-FlatでマイクロLEDチップを
バックプレーンに移送します。

マイクロLEDチップのリペア

Micro LED Chip Repair

バックプレーン移送後の
リペア

移送部品
EZ-PETAMP-1Dot

移送部品
SQDPシリーズ

バックプレーンへの移送後も
リペアが可能です。

ドナープレート(SQDPシリーズ)
上のリペア

高速リペア装置

移送部品
SQRPシリーズ

SQDP上の不良マイクロLEDチップを
除去し、SQRPからチップを補填します。

ドナープレート(SQDPシリーズ)
上のリペア ピクセルピッチ変換後

高速リペア装置

移送部品
SQRPシリーズ

SQDP上の不良マイクロLEDチップを
除去し、SQRPからチップを補填します。