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ボンド装置 / デボンド装置

ボンド装置 / デボンド装置

Bonding / Debonding Equipment

本装置は、マイクロLED製造プロセスにおいて

  1. マイクロLEDチップの表裏反転移送をドナープレート単位で一括して
    実現します。
  2. ドナープレート(信越化学工業株式会社製SQDPシリーズ)からリリースプレート(信越化学工業株式会社製SQRPシリーズ)へのマイクロLEDチップ移送を一括して実現します。

本装置は、圧着と剥離との対の装置構成です。

・ 圧着装置は、加熱状態での移送が可能です。
・ 圧着装置は、高耐久ダイヤフラムにより均一な加圧移送が可能です。
・ 剥離装置は、粘着状態に合わせて最適な剥離機構が選択可能です。

シリーズ名称

Invisi LUM-XBD

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