マイクロLEDチップ移送部品
Micro LED Chip Transfer Parts
Micro LED Chip Transfer Parts Product Lineup
*LLO = レーザーリフトオフ (Laser Lift Off)
Advantages of Shin-Etsu Unique materials
シリコーン
合成石英ガラス基板
Products Features
EZ-PETAMPシリーズは、当社独自のシリコーンの粘着性最適化技術と精密微細加工技術を組み合わせた製品で、お客様のご要望に合わせたマイクロLEDチップのピックアンドプレイスを可能にします。
SQDPシリーズ(Shin-Etsu Quartz Donor
Plate)は、精密加工された合成石英ガラス基板上に、当社独自のシリコーンを用途に合わせて製膜した製品です。
レセプターとしてマイクロLEDチップを受け止めた後、洗浄工程を経て次の工程へ投入するドナーとなるため、当社ではドナープレートと呼んでいます。
SQRPシリーズ(Shin-Etsu Quartz Release
Plate)は、レーザー透過性の高い当社独自の合成石英ガラス基板上に、独自の特殊樹脂をアブレーション層として製膜した製品です。
低いレーザー出力でマイクロLEDチップを移送でき、デブリを最小限に抑えた設計となっています。チップを高速でピッチ変換しながら移送することが可能で、当社ではリリースプレートと呼んでいます。