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【觀看動畫】信越化學提供Micro LED整套製程

【觀看動畫】信越化學提供Micro LED整套製程

【Watch in Video】Learn Shin-Etsu Micro LED Chip Transfer Technologies

大型顯示器製程

小型顯示器製程

接觸式LLO
(Contact-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off設備

轉移元件
SQDP系列

高效率轉移Micro LED晶圓上的晶片到
SQDP上。

非接觸式LLO
(Gap-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off設備

轉移元件
SQDP系列

高效率轉移Micro LED晶圓上的晶片到
SQDP上。

轉移到Release Plate

Bonding / Debonding設備

轉移元件
SQRP系列

將轉移到SQDP的Micro LED晶片
一次性轉移到SQRP上。

轉移到背板

轉移元件
EZ-PETAMP-Dot

使用EZ-PETAMP-Dot
轉移 Micro LED晶片到背板。

高速巨量轉移到大型(2nd)Donor Plate

Excimer Laser
Laser Mass Transfer設備

轉移元件
SQDP-G系列

轉移元件
SQRP系列

將SQRP上的Micro LED晶片
Pixel Pitch
高速轉移到SQDP-G上。

將SQRP上的Micro LED晶片
以高速高密度
轉移到SQDP-G上。

轉移到4K/8K螢幕顯示器的背板上

轉移元件
EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)

使用EZ-PETAMP-Flat-Large(6 inch)
轉移Micro LED晶片到背板。

轉移元件
EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)

使用EZ-PETAMP-Dot-Large(6 inch)
轉移Micro LED晶片到背板。

伴隨間距變換的非接觸式LLO
(Gap-LLO)

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off設備

轉移元件
SQDP系列

高效率轉移Micro LED晶圓上的晶片到
SQDP上。

轉移到背板

轉移元件
EZ-PETAMP-Flat

使用EZ-PETAMP-Flat
轉移Micro LED晶片到背板。

Micro LED晶片的修復

Micro LED Chip Repair

轉移到背板後的修復

轉移元件
EZ-PETAMP-1Dot

轉移元件
SQDP系列

轉移到背板後仍可進行修復。

Donor Plate(SQDP系列)
上的修復

高速修復設備

轉移元件
SQRP系列

去除SQDP上的不良Micro LED晶片後
從SQRP取晶片進行修復

Donor Plate(SQDP系列)上的
修復(Pixel Pitch變換後)

高速修復設備

轉移元件
SQRP系列

去除SQDP上的不良Micro LED晶片後
從SQRP取晶片進行修復