Micro LED芯片转移产品
Micro LED Chip Transfer Parts
Micro LED Chip Transfer Parts Product Lineup
*LLO = 何为激光剥离(Laser Lift Off)
Advantages of Shin-Etsu Unique materials
有机硅
合成石英玻璃基板
Products Features
EZ-PETAMP系列产品是使用信越自主研发的具有不同粘着性的有机硅,搭配精密的细微加工技术而制成的产品,可根据客户端的需求实现Micro LED芯片的Pick&Place。
SQDP系列(Shin-Etsu Quartz Donor Plate)是依据不同用途,将信越自主研发的有机硅成膜在精密加工的合成石英玻璃基板上制成的产品。
作为暂固定载板,Micro
LED芯片在LLO后经过清洗工艺,进入下一步工艺,因此我司将其称为Donor
Plate。
SQRP系列(Shin-Etsu Quartz Release Plate)是用信越自主研发的特殊树脂成膜在特有的具有高激光透过性的合成石英玻璃上的产品。
可以用低输出功率激光进行Micro
LED芯片转移,并且最大限度抑制碎屑产生。在高速芯片转移的同时,可以自由排布芯片间距，我司将其称为Relase
Plate。
