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Micro LED晶片轉移產品

Micro LED晶片轉移產品

Micro LED Chip Transfer Parts

Micro LED晶片轉移產品LINE UP

Micro LED Chip Transfer Parts Product Lineup

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

EZ-PETAMP-Dot

移轉晶片用
凸點印章

植晶片機

EZ-PETAMP-109-
13-D30/B30

35mm×35mm
厚度1.2mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

EZ-PETAMP-Flat

移轉晶片用
印章

植晶片機

EZ-PETAMP-109-
F003

30mm×30mm
厚度1.2mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

EZ-PETAMP-1Dot

修復用印章

植晶片機

EZ-PETAMP-109-B1

20mm×20mm
厚度1.2mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

EZ-PETAMP-Flat-Large (6 inch)

移轉晶片用
大型印章

植晶片機

EZ-PETAMP-109-
FL001

Φ6英时
厚度1mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

EZ-PETAMP-Dot-Large (6 inch)

移轉晶片用
大型凸點印章

植晶片機

EZ-PETAMP-109-
DL200

Φ6英时
厚度1mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

Donor Plate
SQDP系列

LLO*用暫固定
基板

LLO*設備
(信越工學製)

SQDP-204-20-6

Φ6英时
厚度1mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

大型(2nd)Donor Plate
SQDP-G系列

LLO*用暫固定
大型基板

巨量轉移
設備
(信越工學製)

SQDP-G224-60-
3035

300mm×350mm
厚度1.1mm

系列產品

產品形狀示意圖

用途

對應設備

代表產品型號

基板尺寸

Release基板
SQRP系列

高速間距變換
轉移用基板

巨量轉移
設備
(信越工學製)

SQRP-4021-1-4

Φ4英时
厚度1mm

*LLO = 雷射剝離 (Laser Lift Off)

可以針對客戶端的需求進行
基板尺寸、印章設計、材料特性、厚度等客製化對應。

信越獨自材料的優越特性

Advantages of Shin-Etsu Unique materials

矽膠

合成石英玻璃基板

產品特點

Products Features

  • EZ-PETAMP系列產品為信越獨有的矽膠粘著性最適化技術與精密細微加工技術組合而成的產品,針對客户端的需求進行
    Micro LED的Pick&Place對應。

  • SQDP系列(Shin-Etsu Quartz Donor Plate)為依據不同用途,將信越獨有的矽膠成膜在精密加工的合成石英玻璃基板上的產品。
    作為接收體,接收Micro LED後經過洗淨製程後投入後製程,因此我司將其稱為Donor Plate。

  • SQRP系列(Shin-Etsu Quartz Release Plate)為信越獨有的特殊樹脂成膜在獨有的合成石英玻璃上的雷射高透過性產品。
    以低輸出功率雷射進行Micro LED轉移,控制減低碎屑的設計。高速晶片轉移中同時可以變換間距,我司將其稱為Release Plate。

其他產品資訊

Other Products

Excimer Laser
Multi-Laser Lift Off設備

Excimer Laser
高速修復設備

Excimer Laser
Laser Mass Transfer設備

Bonding / Debonding設備